1. 研究目的与意义（文献综述）

1.1研究目的

运用光学原理及光刻等微加工方法制备单晶硅微针阵列，探究材料和各项工艺参数等对空心微针阵列效果的影响，并检测其物理化学性质。

2. 研究的基本内容与方案

2.1实验内容及目标

确定微针阵列的材料及尺寸，设计掩膜，通过光学原理及技术制造出微针阵列，并对其进行尺寸、强度、生物相容性等指标的检测分析。

2.2实验技术路线

3. 研究计划与安排

第1-2周，收集查阅与设计题目相关的资料，选定需要翻译的外文资料；
第3-4周，初步拟定总体方案，完成开题报告，进行外文资料的翻译；
第5-6周，确定微针阵列的制备方案；
第7-8周，进行微针阵列的制备；
第9-12周，微针阵列的制备实验；
第13-15周，撰写毕业设计说明书。

4. 参考文献（12篇以上）

[1]汤子凡，张代化，王艳艳，等．mems 器件在药物释放中的应用与展望［j］．纳米技术与精密工程，2016，14(5):322-330

[2]李以贵，杉山进.基于移动liga工艺的微针阵列的设计与制作[j].纳米技术与精密工程，2009,7（1）:81-84

[3]曹玉田.微针的制备与应用研究[d].上海：上海交通大学. 2011