1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

一.课题研究背景及意义

低温等离子体在环境污染治理、医学杀菌、材料改性及流动控制等领域具有广泛的应用及独特的优越性。而大气压非平衡低温等离子体由于其低成本、易于应用等优势受到人们的格外关注。

目前用于产生等离子体的电源主要有工频交流电源、高频电源、微秒脉冲电源与纳秒脉冲电源。与工频交流电源相比，高频电源、微秒脉冲电源与纳秒脉冲电源产生的大气压等离子体具有许多优势，如在对介质表面处理时能达到更好的处理效果和更高的效率，更易产生均匀的大面积等离子体，所产生等离子体的非平衡性更高、灭菌效果更好等。但是高频电源自身发热较严重，对电源内部散热要求较高，所产生的等离子体温也比较高。而纳秒脉冲电源，虽然具有放电均匀性好，反应器发热量较低的优点，但其生产成本较高，脉冲控制难度大，难以得到大规模的生产和推广应用。微秒脉冲电源与纳秒脉冲电源相比具有制造成本低，脉冲功率大的优势，单个脉冲所携带的能量更大，更适合用于大功率应用，尤其是小型化的微秒脉冲电源，在继承传统微秒脉冲电源的优势的同时还有方便灵活的特点，应用前景更加广泛。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

需要解决的问题：

由于低温等离子体在大规模工业生产、医学、环保等领域的应用得到了广泛的认可，所以对产生低温等离子体的电源的研究就显得及其重要，又由于目前的高频电源和纳秒脉冲电源的固有缺点，使得微秒脉冲电源的研究更具有重要意义。

然而现有微秒脉冲电源，一般都体积较大，成本较高，想要进行大规模的生产应用困难较大，随着低温等离子体在人体医学方面的迅速发展，急需一种小型化，低成本，参数可调的微秒脉冲电源，它将继承前有的微秒脉冲电源的优点，改善传统电源的一些不足，增强装置灵活性，满足更多的应用需求。