1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文 献 综 述

一、概述

介质阻挡放电(dielectric barrier discharge，dbd)又称无声放电，是一种有绝缘介质插入放电空间的气体放电形式^[1]。该放电能够在大气压下或高于大气压下产生大体积、高能量密度的低温等离子体，且工作适用气压范围宽、等离子体处理区域大、能量适中、活性自由基密度高、操作简单，因此在臭氧合成、环境保护、工业废弃处理、材料表面改性等工业领域具有广阔的应用前景。如何通过选择合适的放电条件，以提高放电的效率，是目前工业研究中普遍关心的问题，因此必须探究影响介质阻挡放电的因素。影响介质阻挡放电的因素有很多，如阻挡介质材料的性质、气隙距离、放电气体类型和流量、外加电压幅值和频率等^[2]。本文研究的是在高频电压激励下外加电压幅值、阻挡介质材料性质等因素对介质阻挡放电的影响，通过选取介电常数不同的几种材料作为介质阻挡层进行放电实验，对它们的放电特性进行研究，给出实验结果并加以分析。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

一、本课题研究内容

本课题尝试在高频电源激励下选择不同的介质材料（石英玻璃、陶瓷、聚四氟等）进行介质阻挡放电实验，研究不同电压幅值、重复频率和气隙距离等条件下的放电特性，并分析高频电压-电流特性、放电功率、发射光谱等，为介质阻挡放电中阻挡介质材料的选取提供一些依据和参考。

二、本课题研究方案