1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文 献 综 述

一 概述

等离子体由正负带电粒子和中性粒子组成，是一种准中性气体，也就是高度电离的气体。等离子气体中的，正电荷总数等于负电荷总数，无论是部分电离还是完全电离。事实上等离子体就是物质存在的第四种状态。它由电离的导电气体组成，其中包括六种典型的粒子，即电子、正离子、负离子、激发态的原子或分子、基态的原子或分子以及光子。由低温等离子体的特殊性能决定其可以对金属、半导体、高分子材料等进行表面改性。材料表面的等离子体改性技术已广泛应用于电子、机械、纺织、生物医学工程等领域。目前，低温等离子体与材料相互作用的研究已经发展成为国际上活跃的领域。研究其相互作用的物理化学过程机理，是发展微电子学、固体表面改性、功能材料等材料领域里的重要课题。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

本课题要研究或解决的问题：

(1)通过建立射流实验装置，选取几种正在被广泛研究的聚合物材料(如pp、pet、ptfe)，观察其改性时的电气特性。

(2)在建立实验装置的基础上，固定相同的其他条件，选取不同功率密度、处理时间等对聚合物材料表面改性。