1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文献综述

1 研究目的与意义

大气压低温等离子体具有成本低廉、无废弃物、无污染、空间富集数量大种类繁多的离子、电子、激发态原子、分子、及自由基等活性粒子的显著优点，这使得低温等离子体物理与应用已经发展成为具有广泛影响力的科学技术，近年来被广泛应用于材料、微电子、化工、机械及环境保护等众多科学领域。目前，高速发展的微电子科学、环境科学、能源与材料科学等领域，又为低温等离子科学，尤其是等离子体射流的发展带来了新的机遇与挑战。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

本课题要研究或解决的问题:

（1）利用所建立的实验装置和测量系统测量得到射流放电的放电特性

（2）通过建立动态仿真模型对射流放电的放电特性进行仿真，得到其动态参量