文 献 综 述 一． 课题研究背景及意义 等离子体是物质存在的一种基本形态，是除固态、液态、气态以外的第四种物质形态，其物性及规律与固态、液态、气态的各不相同。

介质阻挡放电是一种有效产生等离子体的方法[1]。

气体放电作为等离子体物理一个重要组成部分，气体放电现象是当电流通过气体后由电离的气体显现出来的。

研究气体放电的目的是要弄清这样的电离气体在各式状况下的宏观现象及规律，人们研究气体放电已有一百多年了，通过放电很好地使用了等离子体[2]。

介质阻挡放电（DBD）又称无声放电，是一种有绝缘介质插入放电空间的气体放电形式。

这种放电形式能够在常压下产生具有较高能量的非平衡等离子体，因此具有十分广阔的工业应用前景，是适合大规模工业应用的一种气体放电形式。

目前在臭氧合成、光源照明、准分子光源、等离子体显示、材料表面改性等方面都获得了广泛应用，实现了良好的处理效果。

因此，对介质阻挡放电（DBD）的放电机理及特性进行研究，对其所涉及的一系列应用领域的理论和技术开发都具有重要意义[3-6]。

DBD是将绝缘介质插入放电空间的一种气体放电形式，其放电电极可以采用多种灵活方式，如平板-平板、多针-平板、同轴电极等，在一些应用场合，还可采用如刀刃状电极和柱-板电极等电极结构。

而采用的电极结构不同，DBD所表现出的放电也行也不同，在一些电极结构下，甚至可以表现为均匀、稳定的无细丝出现的放电形式，称为大气压辉光放电。