1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文 献 综 述 随着集成电路、mems和便携式电子设备的应用日益广泛，以化学电池为其主要供能方式存在诸多弊端，如体积大，质量大，供能寿命有限，需要定期更换，以及由此所带来的材料浪费和环境污染等问题，不容忽视。

尤其对于目前发展日益迅速的无线网络和嵌入式系统来说，电池供电的这种缺陷更为明显[1]。

因此，如何为这些低耗能的电子产品供能，已成为迫切需要解决的问题。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

研究的问题和研究方法 压电悬臂梁发电机结构 压电悬臂梁结构模型如图1所示，压电陶瓷晶片粘贴在基板上，在悬臂梁压电振子的自由端附降频质量块，二者构成弹簧质量系统，质量块的作用是降低悬臂梁压电振子结构的固有频率。

基板同时作为下电极，在压电陶瓷晶片的顶部覆有金属薄膜作为上电极,压电陶瓷材料采用pzt5a。

当悬臂梁末端有外力f(或振动形变)作用时，压电振子上下自由弯曲振动，引起压电陶瓷晶片变形从而在上极产生压荷，输出电压，实现机械振动能到电能的转化。