1. 研究目的与意义（文献综述）

1.1研究目的及意义

真空系统（vaccum system）是由真空容器和产生真空、测试真空、控制真空等原件组成的真空装置^[1]。如图1-1，目前，该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。真空系统自启动后，全部运行过程可以实现全自动控制。在工作中，真空系统内各处的真空度（即真空稀薄程度平均分布）始终在其允许范围内上下波动，其波动范围可根据用户要求进行调整。使用螺杆真空泵、罗茨真空泵、旋片真空泵及水环真空泵，真空系统能达到最佳流程工艺。

2. 研究的基本内容与方案

2.1 研究的基本内容

(1)通过查阅相关资料，了解真空系统样品姿态控制装置的工作原理及其传动装置的相关结构；

3. 研究计划与安排

3．进度安排

第1周：查找相关资料，明确研究内容，并阅读文献，完成一篇外文文献翻译；

4. 参考文献（12篇以上）

4．阅读的参考文献不少于15篇（近五年外文文献不少于3篇）

1.din 28400-8:1997 真空技术 术语及定义 真空系统、元件和附件.

2.wikipedia, thefree encyclopedia.