1. 研究目的与意义（文献综述包含参考文献）

文 献 综 述传感器是一种以测量为目的而被使用并且根据某些规则被转换成可用的输出信号的装置或设备。

它通常由转换元件和敏感元件组成,实现自动控制和自动检测。

mems传感器的研究始于20世纪60年代,能够代表该技术开端的首个硅隔膜压力传感器和应变计分别来自于霍尼韦尔研究中心和贝尔实验室。

2. 研究的基本内容、问题解决措施及方案

课题要研究的问题：对压阻式压力传感器的感压弹性膜表面的拓扑进行优化，实现弹性膜表面压阻所在区域的应力集中，提高传感器的灵敏度并拓展传感器对低压的检测范围。

拟采用的研究手段：1. 利用COMSOL软件对压阻式压力传感器的敏感膜拓扑优化进行仿真，通过尝试不同的拓扑结构，计算不同条件下应力，根据结果设计一种优化结构2.利用COMSOL软件对压阻式压力传感器的压阻形状优化进行仿真，通过不断改变压敏电阻形状，计算不同情况下传感器性能指标，在此基础上对传感器进行进一步的优化3.完成对仿真结果的提取并进行分析，得到压阻式压力传感器的应力集中方案， 实现传感器灵敏度等性能的提高