文 献 综 述

引言：

随着社会的发展，科技日新月异，人们对工作环境舒适度的要求越来越高，适宜的空气环境是舒适工作环境的一个很重要因素，进而也出现了洁净空调，洁净空调是空调工程的一种，常规的空调系统,主要是对空气的温度,湿度进行调节和控制。而随着需求的变化,要求越来越多的空调系统能够控制室内空气的洁净度,诸如含尘粒数、细菌浓度等都有较高的要求，为此相应的技术称为空气洁净技术，洁净技术的应用也越来越广泛

正文：

一、洁净空调的概念及光学微电子净化工程了解

洁净空调是空调工程的一种，对室内空气的温度、湿度、风速有一定的要求的同时，对空气的含尘粒数、细菌浓度等都有比较高的要求，相应的技术被称为空气洁净技术。

洁净技术是一门以防止生产与研究工作受环境因素的干扰和影响，保护产品或研究对象不受有害物质污染为核心内容的新兴技术。它是一门综合建筑、空调通风和纯水、纯气供应等多个专业的专门技术。洁净技术是一门跨行业、跨部门、跨学科的综合性新兴分支学科，我们必须善于借鉴、吸收各个行业、学科的已有成果、经验和长处，不断提高洁净技术水平。

光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内空气中的微尘粒子，有害空气，细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度，洁净度，室内压力，气流速度与气流分布，噪音震动及照明，静电控制在某一需求范围内，而所给于特别设计之密闭空间。

光学微电子净化工程又名无尘室或清净室，目前已是半导体，精密制造，液晶制造，光学制造，线路板制造和生物化学，医药，食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来，由于技术之创新发展，对于产品的高精密度化，细小型化之需求更为迫切。

光学微电子净化工程包括：